1389 9خ6الف 8906 QD

كارشناسي ارشد

شيمي - شيمي فيزيك

دانشگاه پيام نور مركز ساري

1389

89/06/20

88ص

اشرفي ، فريدون - بهاري ، علي

بابانژاد ، سيداحمد

مشكلات و چالش هايي در روند كاهيدگي قطعات سيليكوني حوزه نانو تكنولوژي وجود دارن كه مانع از كوچك شدگي بيش تر آن مي شود . اكسيد فرا نازك سيليكون ديگر نمي تواند به عنوان يك ماده مناسب در قطعات جديد به شمار آيد به همين دليل به رشد و بررسي نانو نيتريد سيليكون پرداختيم . نتايج بدست آمده نشان مي دهند كه ويژگي نانو ساختاري ماده مزبور در دماهاي بالا و پايين متفاوت است .

56872